01
MF-C / MF-M
MF-C / MF-M
模拟型气体质量流量控制器 / 流量计
面向成熟模拟控制系统，提供稳定的质量流量测量与闭环控制。可直接连接 PLC、二次仪表或数据采集系统，维护逻辑直观。
- SPAN / ZERO 本地微调
- 50:1 量程比
- SUS 316L 接气材质
系列范围10 sccm — 200 slm
接口0–5 V / 4–20 mA
响应≤ 2 s
型号覆盖MF-100C/M · MF-200C/M · MF-300C/M
GAS FLOW TECHNOLOGY20°C · 1 ATM
让每一份气体配比准确可控
弗洛盖克专注气体质量流量控制器与流量计，为实验室、半导体、真空、石化及先进制造提供稳定、可连接、可复现的流量方案。
FLOW RANGE3 sccm— 3000 slm
ACCURACY±1.0%满量程 / 代表型号
CONNECTIVITYRS-485Modbus RTU
PV / SV现场显示
9-PINRS-485 + ANALOG
01
毛细管传热温差量热法
02
无需额外温压补偿
03
测量 MFM + 控制 MFC
04
SUS 316L 接气材质
PRODUCT / 03
三条主产品线
从基础模拟控制到全数字联网，再到本地可视化操作，覆盖 3 sccm 至 3000 slm。MFC 用于闭环控制，MFM 用于精确测量。
咨询选型
02
MF-DC / MF-DM
MF-DC / MF-DM
数字型气体质量流量控制器 / 流量计
全数字采集与控制架构，兼容模拟信号，适合设备联网、配方调用、多通道集中控制和生产数据留存。
- 默认 9600 N81
- 模拟 / 数字模式切换
- 远程调零与阀控
系列范围3 sccm — 3000 slm
接口RS-485 / Modbus RTU
响应≤ 1 s
型号覆盖MF-100 / 200 / 300 / 350 / 400 / 500 / 600 DC/DM
03
MF-DLC / MF-DLM
MF-DLC / MF-DLM
数显型气体质量流量控制器 / 流量计
现场 LCD 同步显示当前值、设定值、气体、量程和通讯参数，支持本地操作及远程控制，调试与巡检更高效。
- 现场 LCD 状态可视
- 本地 / 远程双操作
- 宽量程系列覆盖
系列范围3 sccm — 3000 slm
接口LCD + RS-485 + Analog
响应≤ 1 s
型号覆盖MF-200 / 300 / 400 / 500 / 600 DLC/DLM
注：响应、精度、压力和接口参数随具体型号、量程、气体及定制条件变化；页面代表参数源自产品手册，最终以选型确认单为准。
APPLICATION / 08
从气体到工艺
不只说明“用于哪些行业”，更说明流量控制器在设备里具体承担什么任务。
SEMICON手册已覆盖
半导体与显示面板
在氧化、扩散、外延、CVD / MOCVD、等离子刻蚀、离子注入与溅射环节，对反应气、载气和清洗气进行稳定配比。
01
按工艺配方精确复现多路气体比例
02
通过 RS-485 集中读取流量、设定值与阀状态
03
在真空腔体入口维持稳定、可追溯的气体供给
TECH SUPPORT / 04
把手册变成现场工具
常用操作、协议寄存器、气体换算和选型数据集中在一个界面，便于调试人员快速查阅。
MODE · 模式灯
绿色闪烁：模拟模式。蓝色闪烁：数字模式。
STATE · 状态灯
蓝色常亮：正常状态。非蓝色常亮或闪烁：状态异常，请检查供电、接线和通讯。
POWER · 电源灯
橘色常亮：设备已上电。
侧面按键操作
- MODE · TAP
- 轻按一次，切换模拟 / 数字模式。
- MODE · 10 SEC
- 长按约 10 秒，红灯闪烁时松手，恢复 9600 N81、地址 1。
- ZERO · 10 SEC
- 在不通气状态下长按约 10 秒，红灯闪烁时松手，等待自动调零完成。
FLOWGATE / 弗洛盖克
专注一件事：把气体流量做准、做稳、做得可连接。
弗洛盖克面向科研与工业设备提供气体质量流量控制器、流量计及配气应用支持。我们从气体、量程、压力、密封、接口和控制方式六个维度协助选型，让产品真正匹配工艺。
01气体与纯度
02量程与单位
03入口 / 出口压力
04密封与接气材质
05接头与安装方向
06模拟 / 数字控制
CONTACT / ENGINEERING
把工况发给我们，开始选型。
建议准备：气体名称、目标量程、入口 / 出口压力、工作温度、接头规格、供电及信号方式。